工研院研發的「 半導體 微波 退火 」技術採用2.45GHz微波管，成本僅工業等級5.8GHz的1/10、平均使用壽命長6倍，且產出晶圓均勻性達99.5%，超越廠商99%的 ... ... <看更多>

隨著摩爾定律的演進， 半導體 的 製程 線寬越做越窄，工研院、交通大學及國家奈米實驗室三方合作的「 半導體 微波 退火 (CINmat)」技術，把微波爐的低頻微波 ... ... <看更多>

半導體 微波 退火. 「 半導體製程 」需要透過加熱 、冷卻❄來改善材料的微結構，目前主流技術一次只能處理 ... ... <看更多>

【只要30秒，技術你就瞭】 精密的 半導體製程 不斷突破，工研院、交通大學、國家奈米實驗室攜手合作研發「 半導體 微波 退火 」，將家用微波爐使用的低頻 ... ... <看更多>

所有製程及其與使用裝置的關係，從實踐觀點專業分析半導體製造的整體架構，輔以圖解進行細部解析，幫助讀者建立系統化知識，深入了解裝置的構造、動作原理及性能。 鎂添加 ... ... <看更多>

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您能想像家用微波爐的低頻微波，也能應用於半導體製程嗎？ ... 退火技術也從傳統的爐管到現行的快速熱退火處理（Rapid Thermal Annealing；RTA）。 晶圓的處理 ... ... <看更多>

您能想像家用微波爐的低頻微波，也能應用於半導體製程嗎？ ... 退火技術也從傳統的爐管到現行的快速熱退火處理（Rapid Thermal Annealing；RTA）。 晶圓的處理 ... ... <看更多>