關於 pecvd機台 ，我們在網路上蒐集到這些相關的討論、資訊與評價

#11. 【製程設備】總覽與收費標準

委託代工者收費將依實際的製程時間為原則1 個RUN 約2-4 小時由機台管理者評估時間，. 收費上限為4 小時。 ... 電漿輔助化學氣相沈積系統( SAMCO PECVD System ).

#12. CVD鍍膜技術

總的來說，只要原料可轉變為蒸氣，幾乎所有種類的膜都可形成。CVD又可延伸出幾種不同的方式，以下將依序介紹。 原子層沈積（ALD）; 射頻電漿化學沈積（PECVD） ...

#13. 太陽能電池片生產設備 - SVCS Process Innovation

層應用的PECVD及LPCVD的批次式水平式擴散爐；超高純度氣體和液體傳輸系統。 ... 維護、安全及可靠的水平式擴散爐平台，SVCS傑出的設計呈現在高效率、機台小.

#14. 電漿輔助式化學氣相沉積設備 - 矽碁科技股份有限公司

SYSKEY的系統可以精準的控制製程氣體與監控其數據(壓力、載台溫度)，並提供高品質的薄膜。 PECVD 與 PEALD PECVD 與 RIE. 我們也開發不同機器 ...

#15. PECVD報告

◇Arc及Sputter碳顆粒過大，只適合大型. 鑽針。 ◇台灣能量產PECVD之DLC的廠家只有兩家。 ◇本公司具有大型PECVD機台自行開發組裝. 能力。 www.tool-tool.com.

#16. 大面積石墨烯電極成長技術 - 機械工業網

(PECVD) 設備成長: 使用915 MHz 微波電漿火炬機台(915 MHz Microwave Plasma Torch, 915MHz MPT) ，可有效成長出面積達15 cm X 15 cm 的石墨烯電極， ...

#17. 行政院原子能委員會委託研究計畫研究報告

frequency plasma enhanced chemical vapor deposition (VHF PECVD) ... 核研所開發之5.5 代VHF PECVD 機台之射射電磁場分布，設計可符. 合工業鍍膜之時間平均電場均勻 ...

#18. 主导PECVD、SACVD、ALD等薄膜沉积设备国产化 - 数据

半导体新股系列4-拓荆科技：主导PECVD、SACVD、ALD等薄膜沉积设备国产化 ... 厦门联芯、燕东微电子等国内主流晶圆厂产线，累计发货超150套机台。

#19. 半導體設備與製程教學實驗室- 電子工程學系

SEM掃描式電子顯微鏡; 濺鍍機(SP-I)一台; 濺鍍機(SP-II)一台; 電漿輔助化學氣相沉積設備(PECVD)一台; 真空幫浦二台、手套箱一台. 支援課程: 製程與設備. 瀏覽數 1393.

#20. 一种pecvd薄膜沉积的自动化制程控制方法 - Google

... 一种PECVD薄膜沉积的自动化制程控制方法，其特征在于，包括：测机流程，生产流程；上述测机流程包括：步骤1：确定沉积厚度与沉积秒数的关系式；步骤2：用PECVD机台 ...

#21. (1) 低溫製程(2) 大面積且均勻度薄膜沉積

功能簡介. 採用電漿輔助化學氣相沉積法(PECVD)來沉積各種矽薄膜。 機台特性： (1) 低溫製程 (2) 大面積且均勻度薄膜沉積. 週邊設備. DRY PUMP, 毒氣偵漏警示器, PUMP ...

#22. 反應式離子蝕刻機RIE / 電漿輔助化學沉積系統PECVD - 力丞儀器

反應式離子蝕刻機RIE / 電漿輔助化學沉積系統PECVD ... ORION II - Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Tool ... 客製化機台整合. 客製化機台整合綜合 ...

#23. 轉寄 - 博碩士論文行動網

論文名稱: 晶片式Solarcell廠(大產量)機台危害風險之研究以建立PECVD查核表為例 ... equipment risk mitigation practice using PECVD check list as an example.

#24. CTimes - Unaxis在台成立顯示器研發實驗室與設備組裝中心

目前由於TFT LCD生產線的玻璃基板規格越來越大，前段製程設備機台也跟著加大，幾乎 ... 此外，Unaxis在竹南新廠內的研發實驗室，研發重點鎖定PECVD和PVD設備，包括提昇 ...

#25. 常用的鍍膜製程

其主要由一條晶圓輸送帶及傳送反應氣體的噴氣器所組 ... pressure CVD)其反應器內 ... 電漿輔助化學氣相沈積（PECVD）系統使用電漿的輔助能量，使得.

#26. 電漿輔助化學氣相沈積 - 國立中興大學-光電半導體製程中心

PECVD 1 (Plasma Enhance Chemical Vapor Deposition). 儀器經費來源 ... 注意機台供水、電及氣狀況。 注意機台目前的狀況-PUMP、valve、RF、加熱器..等。

#27. 真空爐PECVD MOCVD機台Eurotherm 2704 碳勢控制器高階 ...

你在找的真空爐PECVD MOCVD機台Eurotherm 2704 碳勢控制器高階程序溫控器96x96-2組PID就在露天拍賣，立即購買商品搶免運及優惠，還有許多相關商品提供瀏覽.

#28. 我國半導體設備製造商資料庫之初步建構 - 管理學院

因此，就所收集到的設備廠商資料，依照表2.1 之八項機台完整性，將二 ... 陸續完成了工業級水準的Cluster 型式八吋晶圓先進RIE、HDP-RIE、PECVD、HDP-CVD、.

#29. 研究機構能源科技專案106 年度執行報告

理現象。為了驗證40.68MHz In-line PECVD 沉積速率可調變的範圍目標值為. 0.5~8.5Å /s，於是採用長時間沉積來確保機台的穩定度與可靠度，一般而言，.

#30. CSIPW- 89B-13 - - 公務出國報告資訊網

3.4由研製ECR電漿機台製程設備技術角度，就參訪2002 Semicon West半導體製程設備及 ... AKT第五代PECVD反應室正中僅軌道輸送中樞的尺寸，體積就與八吋晶圓的CVD整機 ...

#31. 關鍵詞 - 工業技術研究院

PECVD )、物理氣相沉積(Physical Vapor Disposition, ... 然而在製程進行的過程中，LPCVD、PECVD、 ... 佳的設計，其目的可以提高機台開發的速度之外，.

#32. 「PECVD」找工作職缺－2021年11月｜104人力銀行

軟體設備工程師Software Regional Product Support Engineer (PECVD) -后里 ... III-V半導體相關產業, 製程開發, 並擔任機台負責人l (1)薄膜製程站點(CVD,P..

#33. 變更電漿輔助化學氣相沈積零組件驗證鍍膜製程技術 - 國立勤益 ...

研究工作為配合新開發自行設計擴散板PECVD 關鍵零組件，做實際鍍膜測試，. 改變腔體內部流場，去尋找鍍出非(微)晶矽 ... 台做實際的鍍膜驗證，用以確定機台的技術指標.

#34. 化學氣相沉積- 維基百科，自由的百科全書

PECVD 技術允許在低溫的環境下成長，這是半導體製造中廣泛使用PECVD的最重要原因。 遠距電漿增強化學氣相沉積（Remote plasma-enhanced CVD，RPECVD）：和PECVD技術很相近的 ...

#35. 馗鼎奈米科技PVD PECVD鍍膜技術

#36. 國立中央大學光電中心PECVD 電漿輔助化學沉積系統使用規範

協助儀器負責人進行機台maintain. 5. 可成為本儀器檢定員以協助進行使用者資格考核。 B 級使用者. 1. 訓練T 級使用者之權利義務. 2. 具有Operator 之權限. T 級使用者.

#37. 應用虛擬量測技術於機台預測保養 - 國立成功大電子學位論文查詢

中文關鍵詞：, 虛擬量測、預測保養、以條件為基的保養、PECVD製程機台、通用型機台模型. 英文關鍵詞：, Virtual Metrology、Predictive Maintenance、Condition-based ...

#38. 智慧型預測保養架構 - 政府研究資訊系統GRB

... Scheme)；預測保養機制(PdM Scheme)；PECVD製程機台； 通用型機台模型(CEM)； ... 關鍵字：微機電元件；薄膜製程機台設計；設備完整性；製程安全監控；製程可靠 ...

#39. Airiti Library華藝線上圖書館_降低PECVD承載腔體粉塵附著研究

A Study of Decreasing Particle Deposition in PECVD Load-Lock Chamber ... 本研究選用電漿輔助化學氣相沉積(PECVD)設備為實驗機台，依據表面粗糙度與熱泳效應等理論 ...

#40. 系統公告列表

2011/11/24 上午11:19:37, Thermal coater機台11/24~11/30 Alcatel turbo pump ATP400保養, ... 2011/10/20 下午05:10:04, 微光電實驗室機台維修狀況PECVD,Sentech ICP ...

#41. 產業價值鏈資訊平台> 產品介紹

7.被動元件：被動元件載盤式外檢機/TR FVI(全自動待檢機)/雷射刻印機等。 8.太陽能產業(Solar Industry)：PECVD Si3N4鍍膜，SiO2鍍膜生產機台、DF POCL3 P dopant高阻值 ...

#42. 主导PECVD、SACVD、ALD等薄膜沉积设备国产化__新浪财经

深度*行业*半导体新股系列4-拓荆科技：主导PECVD、SACVD、ALD等薄膜沉积设备 ... 厦门联芯、燕东微电子等国内主流晶圆厂产线，累计发货超150 套机台。

#43. 中微公司加持！国内唯一PECVD供应商：拓荆科技成色几何_设备

SACVD 设备的主要功能是在次常压环境下，通过对反应腔内气体压力和温度的精确控制，将气相化学反应材料在晶圆表面沉积薄膜。薄膜沉积技术是以各类适当 ...

#44. PECVD 的原理與故障分析 - 每日頭條

干法刻蝕目前以RIE及ICP模式使用較為普遍，兩種均屬於平行電極板的刻蝕，能量均採用RF Power。除了RIE及ICP機台，MEMS製程最常用到的還有DRIE模式。一、 ...

#45. pecvd原理 - 軟體兄弟

CVD 原理. ◇反應氣體從反應器的主氣流裏，藉著反應氣體在主氣流及晶片. 表面間的濃度差，以擴散的 ...

#46. PECVD類鑽碳膜機台www.tool-tool.com

PECVD 工作原理腔體內有上下兩塊電極，工件置於下面的電極基板之上，電極基板加熱至100℃~400℃之間。 在二電極板間外加一個高頻 ... PECVD類鑽碳膜機台www.tool-tool.com ...

#47. PECVD技术 - Evatec AG

PECVD PLATFORMS. PECVD机台. Evatec 成熟的CLUSTERLINE® 200机台上可以使用配置PLASMABOX®的PECVD技术。 我们的专家将随时为您提供服务，如果您有任何疑问，请与我们 ...

#48. (一) PECVD使用手冊

本機台以六吋晶圓為主，所有試片(含6吋)均務必使用承載片。 製程中需隨時注意HF之反射功率是否過大(須小於10)。 只限使用Si基板晶片，其餘一概禁止放入。 PECVD當天之 ...

#49. 39-PECVD電漿化學蒸鍍系統 - 臺科大化工系

NTUST Chemical Engineering 貴重儀器室 聯絡人：徐翊玲小姐 分機：6657 E-Mail: [email protected] 表面積及孔徑分析儀 (BET) ...

#50. CN101824647A - 一种pecvd薄膜沉积的自动化制程控制方法

... 一种PECVD薄膜沉积的自动化制程控制方法，其特征在于，包括：测机流程，生产流程；上述测机流程包括：步骤1：确定沉积厚度与沉积秒数的关系式；步骤2：用PECVD机台 ...

#51. PECVD電漿Arcing之改善研究 - Scribd

On the reduction of the Plasma Arcing in a PECVD Chamber ... 圖1.1 晶片製程剖面圖. 1 晶圓廠一天對PECVD 機台執行一~二次測機動作，藉以驗證機台所沉積出 ...

#52. 爐管產品

APCVD產品線基於獲得專利的Watkins Johnson（WJ）線性噴射器技術，能夠精確，可重複地沉積摻雜或未 ... XeF2 釋放式蝕刻 · Sigma® 沈積系統 · MVD® · PECVD · 爐管產品.

#53. 太陽能 - 帆宣系統科技股份有限公司

PECVD 石墨舟、陶瓷棒、工藝點. PID free 模組、臭氧水產生器模組 ... Texture tool,Diffusion furnance, PECVD, PSG remover etc ... 電注入機台. 1; 2 · > · >>.

#54. 知識力

電漿化學氣相沉積(PECVD：Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)與微波 ... 將矽晶圓或玻璃放在PECVD機台的晶圓座上方，做為基板(Substrate)。

#55. PECVD SYSTEM - 世欣科技股份有限公司真空腔體/濺鍍機/蒸鍍 ...

真空設備：SPUTTER SYSTEM、PLED SYSTEM、硒化爐SYSTEM、P E C V D SYSTEM.... ... 故而我司提供機構改善服務,. 讓室內更簡潔,機台更實用! 硒化爐SYSTEM 觀看大圖 ...

#56. 國家奈米元件實驗室8”設備開放服務清單

微影重點機台： ... 目前機台. 製程能力. 解析度：. 15奈米孤立線線寬. 20奈米溝槽與接觸洞 ... 本設備目前設置有高密度電漿(HDPCVD)腔體和電漿增強型(PECVD)腔.

#57. 崇綸張- 友達光電研發工程師 - LinkedIn

前瞻性可撓式LTPS-AMOLED/uLED面板製程研發◇薄膜封裝技術(Thin film encapsulation,TFE) ｜精通機台AKT/AIX PECVD，薄膜特性製程優化｜精通機台Veeco ...

#58. 晶圓的處理－薄膜

PECVD （電漿加強CVD， plasma enhanced CVD） ... LPCVD 反應器. 安全對策 ... PECVD. • 以射頻（radio frequency，RF）. 以射頻（.

#59. 應用材料設備奧援台面板廠轉型添柴薪 - 新電子

據了解，應用材料的台南製造中心主要將生產顯示器產業用的PECVD、Array PVD與CF PVD機台，以及薄膜太陽能電池製造用的PECVD機台。預計未來1年該廠房可出貨約一百台的 ...

#60. 利用不同閘極氧化層之製備方式對多晶矽薄膜電晶體之影響

訓練機台與教學，其中感謝鐘群智學長以及沈權暉學長，百忙之中抽空幫助我們 ... 化學氣相沉積系統（Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD）來製備.

#61. 從國際會議和工研院太電中心矽薄膜太陽電池的研發能量看技術 ...

然而， Oerlikon 畢竟踏進太陽電池研發的時間較Applied Materials 早，該公司目前已經提供玻璃基板1.4m 2 的KAI PECVD 量產機台給Ersol 、CSG 和Schott ...

#62. 半导体/FPD生产线的搬迁及翻新

為了讓客戶能放心採用中古機台，敝公司自創業以來便一直在追求精進技術方面的相關能力。從生產線搬遷、改造生產線架構，到整修機台以延長機台壽命等等， ...

#63. 科技部新竹科學園區管理局園區環境保護資訊網

(3)94.10完成A-line 15台PECVD 機台26 Chamber ; B-line 16台PECVD 機台18 Chamber C2F6 轉換C3F8。 (4)每年將可節省NT 26,400,000元。PFC 減量排放平均> 60%。

#64. 生产商®Celera™PECVD |应用材料

應用材料塞莱拉生产商PECVD系統可以沉積可調壓縮和拉伸高應力氮化矽薄膜，可運用 ... 應用材料塞莱拉沉積及UV固化製程是整合在經過生產驗證,高產量的制片人機台上;此機 ...

#65. pecvd製程

26/6/2008 · 如題~ 今天問了某人，因我們的機台是用濺鍍方式，將因錫鈀上的東西打出來乘積在玻璃上面，某人就跟我說這是PVD製程，最後濺鍍製程中有加Ar、O..等氣體，所以 ...

#66. 拓荆科技答科创板首轮问：在手订单金额超15亿元主要产品国内 ...

其中序号16-19的机台均用于中芯国际的同一条产线，故于同时间验收。 除PECVD设备外，拓荆科技同时在回复函中披露了其余主要产品的验证情况。截至回复签署 ...

#67. 半導體真空系統應用四、熱及電子槍蒸鍍技術五

六、CVD、PECVD、LPCVD原理. 七、薄膜特性量測 ... 熱感測器. 氣體感測器. 生物感測器. CdS，CdSe，PbS，PbSe ... 接合容易(如：大型機台安裝).

#68. 應用材料公司旗下子公司AKT出產第400台PECVD系統

AKT已在2004年七月出產交付全球第一台第七代生產機台。 AKT公司，應用材料公司（NASDAQ號碼AMAT）旗下子公司，是全球TFT-LCD產業最大的PECVD設備產品 ...

#69. 加值中心展示室

可以下圖所示之等效電路進行探討，電路系統由功率產生器、阻抗匹配器(impedance matching box)、腔體所構成。 電漿化學氣相沈積設備原理. 典型的PECVD所包含 ...

#70. 設備事業群 - 台灣格雷蒙

(2)拆機、運輸及裝機服務： 以可復原性之方式拆機，並提供符合國際進出口標準之包裝方式運輸，至客戶所在地依 ... 【太陽能電池廠使用之電漿輔助化學氣相沈積(PECVD)】

#71. Ch9 Etching

對濺鍍非常重要，RIE及PECVD. • 主要由RF功率決定. • 幫助達到非等向性蝕刻輪廓. Page 10. 10. 19. Chemical and Physical Etching. ▫ 自由基蝕刻純化學反應.

#72. PECVD设备简介 - 百度文库

PECVD 设备简介PECVD设备简介 PECVD全称PECVD：Plasma Enhanced Chemical Vaper Deposition 等离子体增强型化学气相沉积 机台组成机台由三部分组成: ...

#73. NAURA创新- 技术创新 - 北方华创

PECVD 是一种低温淀积薄膜的设备，在晶硅太阳电池的实际生产中具有十分重要且广泛的应用 ... 设备可靠性高、机台占地面积小、设备产能大、维护简单、机台成本低等特点。

#74. PECVD System-台灣黃頁詢價平台

Description: AST Aegis PECVD System provides the complete product line covering the production scale from volume production, pilot production to RD platform ...

#75. 电子

主流是设备包括PECVD、Tube CVD、LPCVD 和ALD 等。 ... 和铝铜类的PVD，沈阳拓荆8 台PECVD）；华力集成项目累积中标薄膜机台约90 多台，.

#76. 穩建科技,半導體及平面顯示器前段製程設備之零組件銷售

Repair,MKS Throttle Valve,300MM, 機台：Endura PVD，Winj料號：WJ-R-24，OEM P/N：1080-00233 ... Repair,MKS-683B PECVD Throttle Valve,Producer Iso50.

#77. 陛通半导体首台高性能PECVD设备交付 - 腾讯

摘要：据上海陛通半导体能源科技股份有限公司（简称：陛通半导体）官方消息，10月15日由陛通半导体研发制造的首台12英寸(300mm) 高性能PECVD化学气相 ...

#78. 陛通半導體首台高性能PECVD設備交付_騰訊科技

摘要：據上海陛通半導體能源科技股份有限公司（簡稱：陛通半導體）官方消息，10月15日由陛通半導體研發製造的首台12英寸(300mm) 高性能PECVD化學氣相 ...

#79. 读完后，我更懂半导体设备了

2017 年单台EUV 机台平均售价超过1 亿欧元，2018 年一季度的售价更是接近1.2 ... 公司拥有12英寸PECVD（等离子体化学气相沉积设备）、ALD（原子层薄膜 ...

#80. CVD、PVD製程機台設備零組件製造加工廠, 產品包括晶圓手臂 ...

晶圓手臂吸盤Paddle、加熱盤Heater/Hot-Plate真空水盤、加熱吸盤Hot-Chuck、陰極基座E-Chuck、真空腔體Chamber、鏡面反射板Reflector Plates、鐵氟龍伸縮軟管Teflon、 ...

#81. 最新消息- 富臨科技工程股份有限公司

同時已完成42片大批量之SiO2成膜PECVD生產設備，以及GaN mesa蝕刻ICP機台之準備，且已獲國內與大陸多家廠商的採用。ICP etcher目前正積極開發PSS(patterned sapphire ...

#82. 光電工程系-奈米元件製程與量測研究室 - 國立虎尾科技大學

... 進入製程實驗室(台南(台灣半導體中心))進行下列各儀器考核，各單項設備(約略15項機台)亦須經過 ... (1) 電漿輔助式化學氣相沈積&感應耦合式蝕刻系統(PECVD & ICP).

#83. 102年經濟部專利商標審查人員考試(半導體製程)半導體工程

對於PECVD 製程中，使用TEOS 可以達到最大沉積速率的溫度大約為250°C ... 今欲對此多晶矽薄膜進行圖案化蝕刻以暴露出下方之二氧化矽，但使用之機台的蝕刻速率 ...

#84. 「pecvd ndl」懶人包資訊整理(1)

pecvd ndl資訊懶人包(1)，(10)點選loadlock之[Evacuate]抽真空，登出軟體，關螢幕。 ... 此Oxford PECVD 屬後段機台，故在此機台沈積完薄膜後，嚴禁再進前段製程機台.

#85. 管式PECVD如何应对大尺寸硅片 - OFweek太阳能光伏网

此外管式PECVD的工艺整合能力也很强，目前有些生产线已经采用背面二合一PECVD设备，将背面氧化铝和氮化硅膜集成在同一机台甚至同一管内进行，缩短了 ...

#86. SmartFDC會偵測腔體MFC互動與後端氦流量中的異常

安裝開發系統並連線至產線上的SECS分流器。 測試與改良SmartFDC異常偵測演算法。 ... 在產業標準的PECVD集束型機台上，已針對所有CVD腔體設定了SmartFDC異常偵測模型。

#87. 宏碩系統- 宏碩UV固化磁控管打入全球晶圓供應鏈 - 未上市股票 ...

宏碩的微波管關鍵製程技術也用在醫療設備X-Ray球管上，應用潛力看好。此外，工業用磁控管也在太陽能前段製程的PECVD機台發光發熱，帶動全年營收上看2億元 ...

#88. 於蝕刻及PECVD製程時,機台異常疊片,磨擦產生背面刮傷.造成 ...

於蝕刻及PECVD製程時,機台異常疊片,磨擦產生背面刮傷.造成背鈍化不良,而形成此類EL 影像的翻譯結果。

#89. 讀完後，我更懂半導體設備了

2017 年單台EUV 機台平均售價超過1 億歐元，2018 年一季度的售價更是 ... 爐、刻蝕機、PECVD等裝備批量供應國際著名的無錫尚德太陽能電力有限公司等。

#90. 奇妙的電漿與電漿的應用 - 國家實驗研究院

... 日益進步電漿也廣泛的應用在半導體製造中，像在薄膜沉積製程中的濺鍍(Sputtering)、電漿化學氣相沉積(PECVD) ;蝕刻製程中的 ... 圖(三)半導體的製程機台示意圖。

#91. 光電及半導體設備產業發展計畫(3/3) 執行期間

履歷管理、機台運行狀態與設備環境監控等機制，提升其. 曝光機智慧自動化生產 ... 本計畫先進遠端電漿源模組開發，為半導體產業PECVD製. 程設備中關鍵模組，該模組用來 ...

#92. novellus機台 - 靠北上班族

novellus機台靠北上班族，另一方面，Lam Research 和Novellus 的客戶(晶片生產廠商) 希望薄膜生長設備和刻蝕設備最好來. ... Novellus C1 150mm PECVD.

#93. 进口半导体机台清关|北京PECVD报关行|价格优势 - 中国供应商

中国供应商(https://site.china.cn)万享进贸通（上海）报关有限公司为上海进口半导体机台清关|北京PECVD报关行|价格优势批发厂家，上海进口半导体机台清关|北京PECVD ...

#94. 光電廠

l 機台一次及二次配能源工程. l 特殊氣體系統管路工程. n 璨圓. l 氣體管路工程. l MOCVD配管工程. l ICP PECVD Bench E-Gun Gas 配管工程. n 晶元光電.

#95. 拓荆科技股份有限公司

PECVD 设备 · HTM PECVD设备 ... 拓荆公司自主研制的国内首台12英寸PEALD设备通过客户验收. 2018年9月底，由沈阳拓荆科技有限公司自主研制的12英寸原子层沉积（Atomic ...

#96. 應材精進OLED顯示器製程- 科技- 工商

Applied AKT-20K TFE PECVD 與Applied AKT-40K TFE PECVD兩套機台，可沉積薄膜封裝障壁層，對保護敏感度極高的OLED裝置至關重要，為材料工程帶來新 ...

#97. Cvd 機台

CCV系列. CCV Series是a-Si镀膜用的纵向式CVD设备。. 有30年以上的量产实绩。. 在各个chamber通过低压镀膜，得到高品质的膜质。. 枚叶式PECVD设备CME-200E ...

#98. 爐內塗佈鍍膜機 - 大永真空設備

有鑑於全球汽車市場蓬勃發展及全球環境保護趨勢，大永真空以節能減碳的概念為出發點，推出了結合PVD及PECVD技術的新製程之DYPE-經濟型爐內塗佈真空鍍膜機。